檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="氮"
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以離子濺鍍法，在沈積氧化鋅薄膜同時，除了通入氬氣作為轟擊靶材之離子源，也直接加入氮氣，可將氮摻雜到氧化鋅薄膜，形成摻氮氧化鋅(ZnO:N)。以XRD分析成長溫度為300C之摻氮氧化鋅薄膜中只有氧化…
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本論文成功利用熱化學氣相沉積法成長奈米碳管並作為超級電容之材料。為了增加電容量，本實驗在奈米碳管成長時加入氨氣，使氮摻雜於奈米碳管之中；再利用金屬有機化學氣相沉積系統，於奈米碳管外成長二氧化釕奈米結…